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與矽片所接觸的材料,設備,人員等外界環境都包含有機化合物。在該實例中,一塊8英寸矽片被壓覆於一塊晶片加熱板上。晶片表麵所產生的揮發性氣體可以通過一台GC-MS進行收集和分析。
通常,塑料材質的零配件會檢測出包含C12(1-十二碳烯)、環甲基矽氧烷(n=6)和二羧酸酯組分。
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