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矽晶片表麵光阻薄膜厚度測量（UV)_電子部件_北京草莓视频懂你更多科技有限公司

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矽晶片表麵光阻薄膜厚度測量（UV)

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詳情介紹

很多方法都可以用來測量薄膜的厚度。這些方法中，紫外可見分光光度計提供了簡便的、對薄膜厚度不造成損害的測量方式。

對矽片上兩個不同厚度的光阻層(0.5 µm, 3.0 µm)進行測量。結果發現，薄膜越薄，波的周期越長，反之亦然。

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紫外可見分光光度計

允許對所有種類的薄膜進行簡易的並且不造成薄膜厚度損害的測量。從薄膜的前後表麵反射出的光相互交叉形成一個幹涉圖。在一定波長範圍內，薄膜的厚度可通過光譜上波的數量計算得到（在物質的折射率已知的情況下）。


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