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集成電路芯片上的異物可通過紅外顯微鏡進行測量。紅外顯微鏡對分析來自大氣灰塵中或製作過程中使用的原材料的有機異物非常有效。
圖中的異物呈現出特征的酰胺化合物譜峰,表明這個異物是源於生物的,例如皮膚碎片。
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